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加工實例:金剛石線切割碳化硅(直徑100mm)試驗記錄
發布時間:2014-09-27 點擊次數:4759次
金剛石線切割碳化硅(直徑100mm)試驗記錄
碳化硅是硬度較高的人工晶體,又叫莫來石(或莫乃石),外觀肉眼看上去是黑色的。切割成薄片之后,可以透光,半透明狀。莫氏硬度9.2~9.3,比藍寶石硬,藍寶石莫氏硬度8.9~9.0。硬度次于金剛石。所以使用金剛石線切割機切割碳化硅適宜。
碳化硅切割試驗內容:使用泰州晨虹CH5630-XL型數控單線立式結構金剛石線切割機對直徑90mm、100mm碳化硅圓柱分別切片,了解切割碳化硅的金剛石線直徑規格、切割時候的速度(加工效率)、切割時長和切割碳化硅對金剛石線的損耗程度。
碳化硅切割試驗結果:先對直徑為90mm碳化硅進行擺動式切割,使用0.3mm直徑砂線60米左右,切割一片的兩面,割完兩片再換砂線。機床進給效率為17μm/s(實時切割效率,指的是機床切割的時候一秒走多遠),切割一片的一面,耗時1小時37分55秒,第二面用時1小時40分鐘,然后再換新的砂線。當時來做切割試驗的客戶工程師感到很驚訝,因為之前他們切割這一面需要5個多小時。接下來的兩天里,我們對直徑為100mm的碳化硅嘗試各種工藝切割,耗時均在3個多小時左右。
下圖為晨虹金剛石線切割機切割碳化硅晶體,拍攝時間為2013年1月
下圖為切割之后的端面